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Publications

	Study of dc micro-discharge arrays made in silicon using CMOS compatible technology Mukesh Kulsreshath , Laurent Schwaederlé , Lawrence J. Overzet , Philippe Lefaucheux , Julien Ladroue Journal of Physics D: Applied Physics, 2012, 45, pp.285202. ⟨10.1088/0022-3727/45/28/285202⟩ Article dans une revue hal-00713105v1

	Bulk micromachined Titanium MEMS Gwenaël Bécan , Baptiste Rousset , Samson Edmond , Nathalie Isac , Maïté Do Vale 16th NAMIS Workshop (NAMIS 2018), Jun 2018, Oulu, Finland Communication dans un congrès hal-02306373v1