Accéder directement au contenu

Remi Dussart

3
Documents

Présentation

Publications et communications

Publications

stephane-mazouffre

Direct measurements of the energy transfers in deposition or etching low pressure plasma processes

Anne-Lise Thomann , Rémi Dussart , Nadjib Semmar , Larbi Bedra , Jacky Mathias
11th International Conference on Plasma Surface Engineering, PSE2008, Sep 2008, Garmisch-Partenkirchen, Germany
Communication dans un congrès hal-00445589v1

Global evaluation of the energy transfer between an ICP argon plasma and a surface

Rémi Dussart , Anne-Lise Thomann , Nadjib Semmar , Laurianne E. Pichon , Jacky Mathias
Internatinal Symposium on Plasma Chemistry, ISPC-18, Aug 2007, Kyoto, Japan. 28p-5
Communication dans un congrès hal-00443518v1

Un capteur de flux d'énergie dans les plasmas

Anne Lise Thomann , Nadjib Semmar , Rémi Dussart , Larbi Bedra , Jacky Mathias
MRCT CNRS. Plasmas Froids : Systèmes d'analyse, Modélisation et Rayonnement, Presses imprimerie Saint-Etienne, pp.97-120, 2009
Chapitre d'ouvrage hal-00443857v1