Remi Dussart
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Documents
Présentation
Publications et communications
Publications
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Direct measurements of the energy transfers in deposition or etching low pressure plasma processes11th International Conference on Plasma Surface Engineering, PSE2008, Sep 2008, Garmisch-Partenkirchen, Germany
Communication dans un congrès
hal-00445589v1
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Global evaluation of the energy transfer between an ICP argon plasma and a surfaceInternatinal Symposium on Plasma Chemistry, ISPC-18, Aug 2007, Kyoto, Japan. 28p-5
Communication dans un congrès
hal-00443518v1
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Un capteur de flux d'énergie dans les plasmasMRCT CNRS. Plasmas Froids : Systèmes d'analyse, Modélisation et Rayonnement, Presses imprimerie Saint-Etienne, pp.97-120, 2009
Chapitre d'ouvrage
hal-00443857v1
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