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Remi Dussart

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Publications et communications

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nasem

Direct measurement of energy transfers during deposition of sputtered metal atoms

Larbi Bedra , Anne-Lise Thomann , Nadjib Semmar , Rémi Dussart , Jacky Mathias
17th International Colloquium on Plasma Processes, CIP 09, Jun 2009, Marseille, France
Communication dans un congrès hal-00445581v1

Direct measurements of the energy transfers in deposition or etching low pressure plasma processes

Anne-Lise Thomann , Rémi Dussart , Nadjib Semmar , Larbi Bedra , Jacky Mathias
11th International Conference on Plasma Surface Engineering, PSE2008, Sep 2008, Garmisch-Partenkirchen, Germany
Communication dans un congrès hal-00445589v1

A direct measurement of the energy flux density in plasma surface interaction

Rémi Dussart , Anne-Lise Thomann , Nadjib Semmar , Laurianne E. Pichon , Larbi Bedra
61st Gaseous Electronics Conference, 2008, United States
Communication dans un congrès hal-00448760v1

Global evaluation of the energy transfer between an ICP argon plasma and a surface

Rémi Dussart , Anne-Lise Thomann , Nadjib Semmar , Laurianne E. Pichon , Jacky Mathias
Internatinal Symposium on Plasma Chemistry, ISPC-18, Aug 2007, Kyoto, Japan. 28p-5
Communication dans un congrès hal-00443518v1

Diagnostic des plasma par micro-fluxmètre

Anne-Lise Thomann , Nadjib Semmar , Rémi Dussart , Jacky Mathias
Congrès de la division plasma de la SFP, 2006, May 2006, Pont-à-Mousson, France
Communication dans un congrès hal-00448844v1

Un capteur de flux d'énergie dans les plasmas

Anne Lise Thomann , Nadjib Semmar , Rémi Dussart , Larbi Bedra , Jacky Mathias
MRCT CNRS. Plasmas Froids : Systèmes d'analyse, Modélisation et Rayonnement, Presses imprimerie Saint-Etienne, pp.97-120, 2009
Chapitre d'ouvrage hal-00443857v1