Accéder directement au contenu
MD

Maxime Darnon

3
Documents
Identifiants chercheurs

Présentation

Publications

"emilie-despiau-pujo"
"erwine-pargon"

Optical and Electrical Diagnostics of Pulsed Plasmas Etching Processes

Gilles Cunge , Maxime Darnon , Camille Petit-Etienne , Paulin Brichon , Romuald Blanc
11th Technological Plasma Workshop, Dec 2013, York, United Kingdom
Communication dans un congrès hal-02338133v1

Optical and Electrical Diagnostics of Pulsed Plasmas Etching Processes

G. Cunge , Maxime Darnon , M. Brihoum , E. Despiau-Pujo , A. Davydova
AVS 60h international symposium, Oct 2013, Long Beach, United States
Communication dans un congrès hal-00925763v1

Pulsed plasmas for etching at the nanoscale

Maxime Darnon , G. Cunge , C. Petit Etienne , E. Pargon , L. Vallier
Journées Nationales des Technologies Émergentes, May 2013, Evian les bains, France
Communication dans un congrès hal-00860922v1