Accéder directement au contenu

Karim Inal

3
Documents

Présentation

Thèse Orsay-ENSAM, ATER ENSAM Paris, MCF ENSAM Metz puis Aix en Provence, Pr ENSMSE Gardanne, Pr MinesParisTech Sophia

Publications

frederic-georgi

Discharge frequency and reagents choice effects on robustness of silicon nitride (Si3N4) thin layers deposited by PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition)

 Catheline Cazako , Karim Inal , Alain Burr , Frédéric Georgi , Rodolphe Cauro
European Conference on Heat Treatment and Surface Engineering, Jun 2017, Nice, France
Communication dans un congrès hal-01721378v1

The impact of nitrogen plasma treatments on SixNyHz moisture sensitivity

 Catheline Cazako , Karim Inal , Alain Burr , Frédéric Georgi
Conference on Plasma Based Ion Implantation & Deposition, Oct 2017, Shanghai, France
Communication dans un congrès hal-01721379v1

Etude XPS de la ré-oxydation de films de Nichrome dans la chambre d'analyse lors du profilage séquentiel par érosion

 Frédéric Georgi , Romain Macabies , Muriel Bouttemy , Damien Aureau , Karim Inal
ELSPEC'16, 7eme conférence francophone sur les spectroscopies d’électrons, May 2016, Versailles_Meudon, France
Communication dans un congrès hal-01444740v1