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Emmanuelle Algre
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Développement de microdispositifs pour l'analyse de polluants d'origine particulaire
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Design and operation of a silicon ring resonator for force sensing applications above 1 MHzJournal of Micromechanics and Microengineering, 2009, 19 (11), pp.115009-1-7. ⟨10.1088/0960-1317/19/11/115009⟩
Article dans une revue
hal-00472725v1
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