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THIERRY BELMONTE
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Documents
Identifiants chercheurs
- thierry-belmonte
- 0000-0002-8572-7676
- IdRef : 074756591
Présentation
Research director
Directeur de Recherche CNRS
Publications
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Dual low pressure plasma process for SiCN:H thin films deposition: A comparative studyVacuum, 2024, 219 (112684), pp.112684. ⟨10.1016/j.vacuum.2023.112684⟩
Article dans une revue
hal-04265126v1
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Submerged Discharges in Liquids for Nanoobject Synthesis: Expectations and CapabilitiesPlasma Chemistry and Plasma Processing, 2023, Special Issue: ISPC25, ⟨10.1007/s11090-023-10349-4⟩
Article dans une revue
hal-04156074v1
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