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Etude du potentiel des nanotubes de carbone dans la microélectronique de puissance

 Thibault Labbaye
Autre. Université d'Orléans, 2015. Français. ⟨NNT : 2015ORLE2038⟩
Thèse tel-01341621v1

In situ Raman spectroscopy for growth monitoring of vertically aligned multiwall carbon nanotubes in plasma reactor

 Thibault Labbaye , Aurélien Canizares , Mireille Gaillard , Thomas Lecas , Eva Kovacevic , et al.
Applied Physics Letters, 2014, pp.213109-1_ 213109-5. ⟨10.1063/1.4902915⟩
Article dans une revue hal-01147142v1

Programmed line width roughness metrology by multitechniques approach

 Jérôme Reche , Maxime Besacier , Patrice Gergaud , Yoann Blancquaert , Guillaume Freychet , et al.
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2018, 17 (04), pp.1. ⟨10.1117/1.JMM.17.4.041005⟩
Article dans une revue hal-02344541v1

Plasma Based Growth and Functionalization of Carbon Nanotubes from First Steps to Technological Applications

 Chantal Boulmer-Leborgne , Mireille Gaillard , Thibault Labbaye , Eva Kovacevic , Nadjib Semmar , et al.
26th Symposium on Plasma Physics and Technology, Jun 2014, Prague, Czech Republic
Communication dans un congrès hal-01058608v1

Laser deposition of catalysts for carbon nanotube growth: from first steps to technological applications

 Chantal Boulmer-Leborgne , Thibault Labbaye , Mireille Gaillard , Nadjib Semmar , Eva Kovacevic , et al.
HPLA, Apr 2014, Santa Fe, NM, United States
Communication dans un congrès hal-01058615v1

Growth and functionalization of carbon nanotubes by PECVD for a new generation of FET biosensor

 Cédric Pattyn , Shahzad Hussain , Thibault Labbaye , Eva Kovacevic , Nadjib Semmar , et al.
EMRS spring meeting 2016, May 2016, Lille, France
Communication dans un congrès hal-01366061v1

Surface property modification of carbon nanotube carpet by plasma.

 Thibault Labbaye , Mireille Gaillard , Eva Kovacevic , Thomas Lecas , Julien Simonneau , et al.
E-MRS Spring meeting, May 2014, Lille, France
Communication dans un congrès hal-01058624v1

Real-time laser diagnostic of CNTs growth: In-situ Raman spectroscopy

 Thibault Labbaye , Mireille Gaillard , Eva Kovacevic , Thomas Lecas , Nadjib Semmar , et al.
E-MRS Spring Meeting, May 2014, Lille, France
Communication dans un congrès hal-01058628v1

Etude de la croissance des nanotubes de Carbone par PECVD en fonction du temps selon différents paramètres expérimentaux

 Thibault Labbaye , Eva Kovacevic , Thomas Lecas , Chantal Boulmer-Leborgne , Nadjib Semmar , et al.
MATERIAUX 2014, Nov 2014, Montpellier, France
Communication dans un congrès hal-01147908v1

Enhancement of catalytic effect for CNT growth at low temperature by PECVD

 Thibault Labbaye , Eva Kovacevic , Thomas Lecas , Mohamed Ramzi Ammar , Aurélien Canizares , et al.
Applied Surface Science, 2018, 453, pp.436 - 441. ⟨10.1016/j.apsusc.2018.05.059⟩
Article dans une revue hal-01904429v1

Plasma-based growth and functionalization of CNT from first steps to technological applications

 Chantal Boulmer-Leborgne , Thibault Labbaye , Mireille Gaillard , Nadjib Semmar , Eva Kovacevic , et al.
CPPA, Jun 2013, Bucharest, Romania
Communication dans un congrès hal-01058606v1

Optical emission spectroscopy of low-pressure RF plasmas used for production of carbon nanotube carpets

 Mireille Gaillard , Thibault Labbaye , Eva Kovacevic , Chantal Boulmer-Leborgne
40th EPS conference on Plasma Physics, Jul 2013, Espoo/ Helsinki, Finland
Communication dans un congrès hal-01058613v1

Amélioration du procédé de croissance de nanotubes de carbone et fonctionnalisation des tapis de nanotubes pour une application biocapteur

 Eva Kovacevic , Chantal Boulmer-Leborgne , Nadjib Semmar , Arnaud Stolz , Shahzad Hussain , et al.
MATV2L, Mar 2016, Orléans, France
Communication dans un congrès hal-01365891v1

Programmed LWR metrology by multi-techniques approach

 Jérôme Reche , Maxime Besacier , Patrice Gergaud , Yoann Blancquaert , Guillaume Freychet , et al.
SPIE Advanced Lithography, 2018, 105850F, ⟨10.1117/12.2292169⟩
Article dans une revue hal-01954366v1
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