Remi Dussart
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Quasi In Situ XPS on a SiO x F y Layer Deposited on Silicon by a Cryogenic ProcessECS Journal of Solid State Science and Technology, 2022, 11 (1), pp.013013. ⟨10.1149/2162-8777/ac4c7d⟩
Article dans une revue
hal-03565995v1
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