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Remi Dussart

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Publications et communications

Publications

1104473

Atomic Layer Etching of Gallium Nitride (GaN) using fluorinated chemistry

Lamiae Hamraoui , Thomas Tillocher , Philippe Lefaucheux , Remi Dussart , Mohamed Boufnichel
42nd International Symposium on Dry Process, Nov 2021, Online, Japan
Communication dans un congrès hal-03539418v1

Atomic layer etching of Gallium Nitride (GaN) using SF6 and Ar plasmas

Lamiae Hamraoui , Thomas Tillocher , Philippe Lefaucheux , Remi Dussart , Mohamed Boufnichel
PLATHINIUM (Plasma Thin film International Union Meeting) 2021, Sep 2021, Antibes, France
Communication dans un congrès hal-03539383v1