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Remi Dussart

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Documents

Présentation

Publications et communications

Publications

1055804

SiOxFy layer deposition for cryogenic nanoscale etching

Gaelle Antoun , Thomas Tillocher , Philippe Lefaucheux , Jack Nos , Aurélie Girard
PLATHINIUM (Plasma Thin film International Union Meeting) 2021, Sep 2021, Antibes, France
Communication dans un congrès hal-03539368v1

Cryo-ALE of Si based on SF6 physisorption

Jack Nos , Thomas Tillocher , Philippe Lefaucheux , Jacques Faguet , Kaoru Maekawa
PLATHINIUM (Plasma Thin film International Union Meeting) 2021, Sep 2021, Antibes, France
Poster de conférence hal-03539330v1