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Comparisons of the new thick negative resist to Su8 resist

 David Bourrier , Monique Dilhan , Ayad Ghannam , Hugues Granier
SPIE Advanced Lithography, Feb 2011, San Jose, United States. ⟨10.1117/12.870496⟩
Communication dans un congrès hal-01873319v1

Si3N4 Thin Films Proprerties for RF-MEMS Reliability Investigation

 Mohamed Lamhamdi , Laurent Boudou , Patrick Pons , Jean Guastavino , A. Belarni , et al.
TRANSDUCERS 2007 : International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Lyon, France, Jun 2007, Lyon, France. pp.579-582
Communication dans un congrès hal-03942596v1

Carbon nanotube-PMMA composite thin: application to water quality

 Christina Villeneuve-Faure , Sébastien Pacchini , Jean Baillieux , Monique Dilhan , David Colin , et al.
Colloque annuel du GDR-I GNT : Graphène et Nanotubes, Feb 2011, Dourdan, France
Communication dans un congrès hal-03167884v1

Effect of ZnO film thickness on the performances of organic light emitting diodes.

 Bruno Lucas , Aumeur El Amrani , André Moliton , Monique Dilhan
E-MRS IUMRS ICEM 2006, May 2006, Nice, France. pp.INCONNU
Communication dans un congrès hal-00153714v1

Etude des mécanismes de chargement de diélectriques pour l'optimisation de la fiabilité des MEMS RF à actionnement électrostatique

 Mohamed Lamhamdi , A. Belarni , Patrick Pons , Laurent Boudou , Jean Guastavino , et al.
JNM'2007: 15èmes Journées Nationales Micro-ondes, Toulouse, France, Jul 2007, Toulouse, France
Communication dans un congrès hal-03942702v1

First approach to the use of liquid crystal elastomers for chemical sensors

 C. Binet , David Bourrier , Monique Dilhan , Daniel Esteve , S. Ferrere , et al.
Talanta, 2006, 69, pp.757
Article dans une revue hal-00149330v1

A dedicated micromachining technology for high-aspect-ratio millimetre-wave circuits

 E. Saint-Etienne , Patrick Pons , G. Blasquez , Pierre Temple-Boyer , Véronique Conédéra , et al.
Sensors and Actuators A: Physical , 1998, 68 (1-3), pp.435-441. ⟨10.1016/S0924-4247(98)00073-9⟩
Article dans une revue istex hal-02045991v1

Les dépôts électrolytiques appliqués aux micro-dispositifs au LAAS

 David Bourrier , Monique Dilhan , Hugues Granier , Arnaud Durlach
Journée Toulousaine d'Electrochimie (JTE 2016), Jul 2016, Toulouse, France
Communication dans un congrès hal-01873836v1
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Integrated LC filter on silicon for DC-DC converter applications

 Philippe Artillan , Magali Brunet , David Bourrier , Jean-Pierre Laur , Nicolas Mauran , et al.
IEEE Transactions on Power Electronics, 2011, 26 (8), pp.2319-2325. ⟨10.1109/TPEL.2010.2102776⟩
Article dans une revue hal-01443073v1
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Hermetic cavities using gold wafer level thermocompression bonding

 Samuel Charlot , Patrick Pons , Monique Dilhan , Isabelle Vallet , Sebastiano Brida
Eurosensors, Sep 2017, Paris, France. 2p
Communication dans un congrès hal-01570711v1

AFM Analysis of Dielectric Charging for MEMS Capacitive Switches Reliability

 Mohamed Lamhamdi , A. Belarni , Patrick Pons , Jean Guastavino , Yvan Segui , et al.
Memswave 2007 : 8th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems, Barcelona, Spain, Jun 2007, Barcelona, Spain. 4p
Communication dans un congrès hal-03942598v1

Auditable invoicing of audited rates: a methodology for funding of an academic platform operations

 Hugues Granier , Monique Dilhan
European Nanofabrication Research Infrastrcutures Symposium, Jun 2019, Erschende, Netherlands
Communication dans un congrès hal-02159848v1

Effect of ZnO film thickness on the performances of organic light emitting diodes

 Bruno Lucas , Aumeur El Amrani , André Moliton , Monique Dilhan
Superlattices and Microstructures, 2007, 42, pp.357-360
Article dans une revue hal-00582453v1

Nanobiotechnologies : les nanobiotechnologies au service des biopuces, l'exemple toulousain

 Christophe Vieu , Laurent Malaquin , Christophe Thibault , Antoine-Emmanuel Saliba , Emmanuelle Daran , et al.
Biofutur, 2004, 23 (250), pp.41-45
Article dans une revue hal-01848957v1

Make carbon nanotube-PMMA composite thin: application to water quality

 Christina Villeneuve-Faure , Sébastien Pacchini , Monique Dilhan , David Colin , A. Brouzes , et al.
MRS Spring Meeting and Exhibit, Apr 2011, San Francisco, United States
Communication dans un congrès hal-03167894v1

Potential of BPN as a new negative photoresist for a very thick layer with high aspect ratio

 David Bourrier , Ayad Ghannam , Monique Dilhan , Hugues Granier
Microsystem Technologies, 2014, 20 (10-11), pp.2089 - 2096. ⟨10.1007/s00542-014-2071-5⟩
Article dans une revue hal-01873715v1

BPN a new thick negative photoresist with high aspect ratio for MEMS applications

 David Bourrier , Monique Dilhan , Ayad Ghannam , Lamine Ourak , Hugues Granier
Microsystem Technologies, 2012, 19 (3), pp.419 - 423. ⟨10.1007/s00542-012-1648-0⟩
Article dans une revue istex hal-01873690v1

Porous silicon membranes for gas sensors applications

 Thierry Taliercio , Monique Dilhan , B. Fraisse , E. Massone , A. Foucaran , et al.
E-MRS Spring Conf., 1994, Strasbourg, France
Communication dans un congrès hal-01792459v1
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