Maxime Mikikian

Directeur de Recherche - CNRS

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Plasmas Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

870717

	Characterization of a low pressure capacitively coupled RF discharge in N₂-H₂ Gaëtan Wattieaux , Johannes Berndt , Eva Kovacevic , Maxime Mikikian , Laifa Boufendi 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas (GEC & ICRP 2010), Oct 2010, Paris, France Poster de conférence hal-00612661v1