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Maxime Darnon

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ali-soltani

Impact of plasma etching process exposure on the integrity of AlN and AlGaN layers integrated in GaN heterojunction transistors (HEMTs)

Fesiienko Oleh , Erwine Pargon , Hassan Maher , Camille Petit-Etienne , Ali Soltani
Journées nationales sur les technologies émergentes en micro-nano fabrication, (JNTE2019), Nov 2019, Grenoble, France
Communication dans un congrès hal-02916150v1