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Marc Legros

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edgar-rauch

Pattern size dependence of grain growth in Cu interconnects

 S. Brandstetter , E.F. Rauch , V. Carreau , S. Maitrejean , M. Verdier
Scripta Materialia, 2010, 63 (10), pp.965-968. ⟨10.1016/j.scriptamat.2010.07.017⟩
Article dans une revue hal-00532978v1