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Influence on the step covering on fatigue phenomenon for polycrystalline silicon MEMS

 O. Millet , Bernard Legrand , D. Collard , L. Buchaillot
Japanese Journal of Applied Physics, 2003, 41, pp.L1339-L1341
Article dans une revue hal-00146435v1

Feedback of MEMS reliability study on the design stage : a step toward reliability aided design (RAD)

 L. Buchaillot
Microelectronics Reliability, 2003, 43, pp.1919-1928
Article dans une revue hal-00146437v1

Bias dependence of gallium nitride micro-electro-mechanical systems actuation using a two-dimensional electron gas

 A. Ben Amar , M. Faucher , B. Grimbert , Y. Cordier , M. François , et al.
Japanese Journal of Applied Physics, part 2 : Letters, 2012, 5, pp.067201-1-3. ⟨10.1143/APEX.5.067201⟩
Article dans une revue hal-00787414v1

4.8 MHz AFM nanoprobes with capacitive transducers and batch-fabricated nanotips

 Benjamin Walter , Estelle Mairiaux , M. Faucher , Zhuang Xiong , L. Buchaillot , et al.
XXIème Congrès Général de la Société Française de Physique, SFP 2011, Jul 2011, Bordeaux, France
Communication dans un congrès hal-00807202v1

Electrode sizing for guided wave resonator above a Bragg mirror

 I. Kone , A. Reinhardt , F. Domingue , Bertrand Dubus , L. Buchaillot , et al.
63rd IEEE International Frequency Control Symposium, joint with 23rd European Frequency and Time Forum, EFTF-IFCS 2009, 2009, France. pp.904-907, ⟨10.1109/FREQ.2009.5168318⟩
Communication dans un congrès hal-00474071v1

Towards a new generation of MEMS-based AFM probes

 Z. Xiong , B. Walter , E. Mairiaux , M. Faucher , L. Buchaillot , et al.
International Scanning Probe Microscopy Conference, ISPM 2013, 2013, Dijon, France
Communication dans un congrès hal-00878807v1

MEMS reliability : metrology set-up for investigation of fatigue causes

 O. Millet , O. Blanrue , Bernard Legrand , D. Collard , L. Buchaillot
2005, pp.483-486
Communication dans un congrès hal-00125627v1

Micro-machined actuators for the friction driven micro-motor

 Bernard Legrand , L. Buchaillot , D. Collard
2006, pp.211-214
Communication dans un congrès hal-00128670v1

A design for 24GHz SPDT using a single RF MEMS switch based on a totally free flexible membrane

 R. Robin , L. Le Garrec , K. Segueni , O. Millet , L. Buchaillot
8th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems, MEMSWAVE 2007, 2007, Spain. pp.133-136
Communication dans un congrès hal-00362686v1

Numerical modelling of shape memory alloy nonlinear behavior laws : application to an adaptative structure

 Anne-Christine Hladky , S. Rafanomezantsoa , L. Buchaillot
ONR Workshop on Acoustic Transduction Materials and Devices, 2000, University Park, United States
Communication dans un congrès hal-00157842v1

SU-8 based arch-like microfluidic microchannels using single mask/single step photolithography

 M. Gaudet , S. Arscott , J.C. Camart , L. Buchaillot
2005, pp.1189-1192
Communication dans un congrès hal-00130826v1

Stiction-controlled locking system for three-dimensional self-assembling microstructures : theory and experimental validation

 Vincent Agache , Lionel Buchaillot , Dominique Collard , Emmanuel Quévy
Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS 2001, Apr 2001, Cannes, France. pp.344-359
Communication dans un congrès hal-00152470v1

Reliability of polycrystalline MEMS : prediction of the debugging-time

 O. Millet , Pierre Bertrand , Bernard Legrand , D. Collard , L. Buchaillot
International Symposium for Testing and Failure Analysis, ISTFA 2004, 2004, Worcester, MA, United States
Communication dans un congrès hal-00141030v1

Fabrication of 24-MHz-disk resonators with silicon passive integration technology

 M. Sworowski , F. Neuilly , Bernard Legrand , A. Summanwar , P. Philippe , et al.
IEEE Electron Device Letters, 2010, 31, pp.23-25. ⟨10.1109/LED.2009.2034542⟩
Article dans une revue hal-00548984v1

Design of clamped-clamped beam resonator in thick-film epitaxial polysilicon technology

 D. Galayko , A. Kaiser , Bernard Legrand , L. Buchaillot , C. Combi , et al.
2002, pp.447-450
Communication dans un congrès hal-00148736v1

Sub-attolitre nanodroplet deposition using a silicon-based nanoelectrospray emitter tip

 Cédric Descatoire , Lionel Buchaillot , S. Arscott
Materials Science and Engineering: C, 2007, 27 (5-8), pp.1491-1495. ⟨10.1016/j.msec.2006.09.009⟩
Article dans une revue istex hal-02347449v1

Proposition of atomic force probes based on silicon ring-resonators

 M. Faucher , B. Walter , A.S. Rollier , K. Segueni , Bernard Legrand , et al.
14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers'07, 2007, France. pp.1529-1532, ⟨10.1109/SENSOR.2007.4300436⟩
Communication dans un congrès hal-00284391v1

Conception and fabrication of silicon ring resonator with piezo-resistive detection for force sensing applications

 Z. Xiong , B. Walter , E. Mairiaux , M. Faucher , L. Buchaillot , et al.
5èmes Journées Nationales du GDR Micro et Nano Systèmes, 2010, Lyon, France
Communication dans un congrès hal-00808200v1

Micro et nanomécanique, MEMS et NEMS

 Bernard Legrand , L. Buchaillot , D. Collard
Ecole CNRS : Nanosciences et Nanotechnologies, 2006, Autrans, France
Communication dans un congrès hal-00128667v1

IF MEMS filters for mobile communication

 E. Quevy , D. Galayko , Bernard Legrand , C. Renaux , C. Combi , et al.
2001, pp.733-736
Communication dans un congrès hal-00152458v1

3D self-assembled micro-actuators for optical applications

 E. Quevy , L. Buchaillot , D. Collard
2001, pp.764-767
Communication dans un congrès hal-00152465v1

Reliability of self-assembled 3D microstrutures : dynamic snap-through modeling and experimental validation

 O. Millet , L. Buchaillot , E. Quevy , D. Collard
2001, pp.97-107
Communication dans un congrès hal-00152469v1

Microrobot autonome

 Philippe Basset , A. Kaiser , L. Buchaillot , P. Masquelier
Actes des 3èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral de Microélectronique, 2000, Montpellier, France
Communication dans un congrès hal-00158520v1

A large stepwise motion electrostatic actuator for a wireless mircrorobot

 Philippe Basset , A. Kaiser , P. Bigotte , D. Collard , L. Buchaillot
2002, pp.606-609
Communication dans un congrès hal-00148787v1

Résonateurs à ondes acoustiques guidées sur miroir de Bragg pour les communications radio-fréquences

 I. Kone , F. Domingue , A. Reinhardt , F. Casset , M. Aïd , et al.
10ème Congrés Français d'Acoustique, CFA 10, 2010, France. pp.1-4
Communication dans un congrès hal-00572203v1
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Guided acoustic wave resonators using an acoustic Bragg mirror

 I. Kone , F. Domingue , H. Jacquinot , M. Borel , M. Gorisse , et al.
Applied Physics Letters, 2010, 96 (22), pp.223504. ⟨10.1063/1.3440370⟩
Article dans une revue hal-00548560v1

CVD growth of carbon nanotubes at very low pressure of acetylene

 Yu.A. Kasumov , A. Shailos , I.I. Khodos , V.T. Volkov , V.I. Levashov , et al.
Applied physics. A, Materials science & processing, 2007, 88, pp.687-691. ⟨10.1007/s00339-007-4028-3⟩
Article dans une revue istex hal-00351737v1

Fabrication process of shape memory alloy thin films for microactuation

 I. Roch , L. Buchaillot , X. Wallart
Proceedings of the 2000 International Conference on Shape Memory and Superelastic Technologies, SMST-2000, 2000, Pacific Grove, CA, United States
Communication dans un congrès hal-00158518v1

Shape memory alloys for microsystems

 I. Roch , P. Delobelle , X. Wallart , D. Collard , L. Buchaillot
2001, pp.417-422
Communication dans un congrès hal-00152468v1

Silicon on nothing MEMS electromechanical resonator

 C. Durand , F. Casset , P. Ancey , F. Judong , A. Talbot , et al.
Microsystem Technologies, 2008, 14, pp.1027-1033. ⟨10.1007/s00542-007-0485-z⟩
Article dans une revue hal-00357280v1
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