Karim Inal
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Documents
Présentation
Thèse Orsay-ENSAM, ATER ENSAM Paris, MCF ENSAM Metz puis Aix en Provence, Pr ENSMSE Gardanne, Pr MinesParisTech Sophia
Publications
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Robust design of thermo-mechanical MEMS switch embedded in aluminium BEOL interconnectMicroelectronics Reliability, 2015, Proceedings of the 26th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis - Proceedings of ESREF 2015, 55 (9-10), pp.1896-1900. ⟨10.1016/j.microrel.2015.06.032⟩
Article dans une revue
hal-01180626v1
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From stress sensor towards back end of line embedded thermo-mechanical sensorMicroelectronic Engineering, 2014, 120, pp.41-46. ⟨10.1016/j.mee.2013.12.013⟩
Article dans une revue
hal-00932762v1
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Improvement of freestanding CMOS-MEMS through detailed stress analysis in metallic layers15th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems, EuroSimE 2014, Apr 2014, Ghent, Belgium. 6 p. - ISBN 978-1-4799-4791-1, ⟨10.1109/EuroSimE.2014.6813834⟩
Communication dans un congrès
hal-01024062v1
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Analyse de déformations et contraintes locales par couplage EBSD et microdiffraction KosselMatériaux 2010, Oct 2010, Nantes, France. pp.0461
Communication dans un congrès
emse-00533744v1
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Contraintes résiduelles dans les interconnexions submicroniques. Prise en compte des dimensions des lignes de cuivre par microcapteurs embarquésCongrès Français de Mécanique CFM'2009, Aug 2009, Marseille, France. pp.1326
Communication dans un congrès
emse-00466583v1
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