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Karim Inal

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Présentation

Thèse Orsay-ENSAM, ATER ENSAM Paris, MCF ENSAM Metz puis Aix en Provence, Pr ENSMSE Gardanne, Pr MinesParisTech Sophia

Publications

868225

Robust design of thermo-mechanical MEMS switch embedded in aluminium BEOL interconnect

Sebastian Orellana , Brice Arrazat , Pascal Fornara , Christian Rivero , Sylvain Blayac
Microelectronics Reliability, 2015, Proceedings of the 26th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis - Proceedings of ESREF 2015, 55 (9-10), pp.1896-1900. ⟨10.1016/j.microrel.2015.06.032⟩
Article dans une revue hal-01180626v1

From stress sensor towards back end of line embedded thermo-mechanical sensor

Brice Arrazat , Sebastian Orellana , Christian Rivero , P. Fornara , Antonio Di Giacomo
Microelectronic Engineering, 2014, 120, pp.41-46. ⟨10.1016/j.mee.2013.12.013⟩
Article dans une revue hal-00932762v1

Improvement of freestanding CMOS-MEMS through detailed stress analysis in metallic layers

Sebastian Orellana , Brice Arrazat , P. Fornara , Christian Rivero , Antonio Di Giacomo
15th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems, EuroSimE 2014, Apr 2014, Ghent, Belgium. 6 p. - ISBN 978-1-4799-4791-1, ⟨10.1109/EuroSimE.2014.6813834⟩
Communication dans un congrès hal-01024062v1

Analyse de déformations et contraintes locales par couplage EBSD et microdiffraction Kossel

Denis Bouscaud , Sophie Berveiller , Raphael Pesci , Claire Maurice , Roland Fortunier
Matériaux 2010, Oct 2010, Nantes, France. pp.0461
Communication dans un congrès emse-00533744v1

Contraintes résiduelles dans les interconnexions submicroniques. Prise en compte des dimensions des lignes de cuivre par microcapteurs embarqués

Renaud Vayrette , Sylvain Blayac , Christian Rivero , Karim Inal
Congrès Français de Mécanique CFM'2009, Aug 2009, Marseille, France. pp.1326
Communication dans un congrès emse-00466583v1