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Jean Paul Salvestrini

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Transfer of III-nitride epitaxial layers onto pre-patterned silicon substrates for the simple fabrication of free-standing MEMS

 Rajat Gujrati , Ali Kassem , Cédric Ayela , Fabrice Mathieu , Liviu Nicu
Applied Physics Letters, 2024, 124 (10), pp.104102. ⟨10.1063/5.0191772⟩
Article dans une revue hal-04495378v1