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Effect of hydrodynamic force on microcantilever vibrations: applications to liquid-phase chemical sensing

 Isabelle Dufour , Etienne Lemaire , Benjamin Caillard , Hélène Debéda , Claude Lucat , et al.
Sensors and Actuators B: Chemical, 2014, 192, pp.664-672. ⟨10.1016/j.snb.2013.10.106⟩
Article dans une revue hal-00876209v1

Highly piezoresistive hybrid MEMS sensors

 Damien Thuau , Cédric Ayela , Philippe Poulin , Isabelle Dufour
Sensors and Actuators A: Physical , 2014, 209, pp.161-168. ⟨10.1016/j.sna.2014.01.037⟩
Article dans une revue hal-00975248v1
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Optimisation des dimensions d'un micromoteur électrostatique à l'aide d'une modélisation analytique du couple statique

 Isabelle Dufour , Emmanuel Sarraute , Ahmed Abbas , Sylvain Allano
Journal de Physique III, 1995, 5 (12), pp.2059-2074. ⟨10.1051/jp3:1995235⟩
Article dans une revue istex jpa-00249437v1
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Modeling and performance of uncoated microcantilever-based chemical sensors

 Sébastien Tétin , Benjamin Caillard , Francis Ménil , Hélène Debéda , Claude Lucat , et al.
Sensors and Actuators B: Chemical, 2010, 143, pp.555-560. ⟨10.1016/j.snb.2009.09.062⟩
Article dans une revue hal-00453482v1
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Microcapteurs chimiques à base de micropoutres en silicium utilisées en régime dynamique

 Isabelle Dufour , Frédéric Lochon
Techniques de l'Ingénieur, 2008, IN, pp.84-1 84-12
Article dans une revue hal-00203432v1
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Silicon made resonant microcantilever: dependence of the chemical sensing performances on the sensitive coating thickness

 Frédéric Lochon , Ludivine Fadel , Isabelle Dufour , Dominique Rebiere , Jacques Pistré
Materials Science and Engineering: C, 2006, 26 (2-3), pp.348-353
Article dans une revue hal-00203739v1

High densified free-standing printed PZT disks or cantilevers for MEMS applications

 Onuma Santawitee , Simon Grall , Chanchana Thanachayanont , Isabelle Dufour , Hélène Debéda
International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators 2019 (IWPMA2019), Oct 2019, Lyon, France
Communication dans un congrès hal-02181102v1

Effects of viscoelastic and fluid damping on the quality factor for a resonant microcantilever

 Russel Cox , Michael Wenzel , Fabien Josse , Stephen Heinrich , Isabelle Dufour
8th. World Congress on Computational Mechanics (WCCM8), Jul 2008, Venise, Italy
Communication dans un congrès hal-00256234v1

Longitudinal Vibration Mode for Resonant Microcantilever-Based Sensors in Liquid Media

 Christophe Castille , Isabelle Dufour , Claude Lucat
7th International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors, May 2010, Banff, Canada. 2 p
Communication dans un congrès hal-00453485v1

Association of screen-printing process and sacrificial layer for free-standing PZT thick-films: application to energy harvesting?

 Hélène Debéda , Isabelle Dufour , Claude Pellet , Claude Lucat
Journées thématiques GDR SoC-SiP : Energie dans les microsystèmes autonomes : enjeux et problématiques, 2011, Bidart, France
Communication dans un congrès hal-00648444v1

Plateforme portable de détection (bio)chimique temps réel à microstructures résonantes

 Corinne Dejous , Isabelle Dufour , Jacques Pistre , Dominique Rebiere , Céline Zimmermann
Atelier CCT-CNES Microsystèmes pour applications embarquées : état des lieux, retour d'expérience, défis techniques et perspectives, 2005, France
Communication dans un congrès hal-00182210v1

Love-wave acoustic sensors and silicon microcantilevers : a coupled approach to characterize polymer thin films

 Dominique Rebiere , Isabelle Dufour , Céline Zimmermann , Corinne Dejous , Jacques Pistre
20th symposium on microelectronics technology and devices SBMicro 2005, 2005, Brazil. pp.1
Communication dans un congrès hal-00182218v1

Determination of Young's Moduli for free-standing screen-printed thick film layers used in MEMS

 Riadh Lakhmi , Hélène Debéda , Isabelle Dufour , Claude Lucat
20th workshop on micromachining, micro mechanics and micro systems, 2009, Toulouse, France. 4 p
Communication dans un congrès hal-00401505v1

Capteurs à microstructures mobiles

 Isabelle Dufour , Christian Bergaud
Tome Microcapteurs chimiques et biologiques : applications en milieu gazeux du traité, Edition Hermes, pp.275-299, 2008
Chapitre d'ouvrage hal-00203750v1

Damping and mass sensitivity of laterally vibrating resonant microcantilevers in viscous liquid media

 Russel Cox , J. Zhang , L. Beardslee , Fabien Josse , Stephen Heinrich , et al.
2011 IEEE International Frequency Control Symposium, 2011, San Francisco, United States. 6 p., ⟨10.1109/FCS.2011.5977838⟩
Communication dans un congrès hal-00564422v1

Optimized aspect ratios for high quality factor microcantilevers in air

 Frédéric Lochon , Naser Belmiloud , Isabelle Dufour , Dominique Rebière
International Workshop on Nanomechanical Sensors, 2007, Montréal, Canada. pp. 40
Communication dans un congrès hal-00160480v1

Study of the viscoelastic effect on the frequency shift of microcantilever chemical sensors

 Uttara Sampath , Stephen Heinrich , Fabien Josse , Frédéric Lochon , Isabelle Dufour , et al.
Joint IEEE International Frequency Control Symposium and Precise Time and Time Interval Systems and applications Meeting, 2005, Canada. pp.1
Communication dans un congrès hal-00183274v1

Microbalances résonantes en silicium pour mesures (bio)chimiques

 Olivier Français , Ludivine Fadel , Isabelle Dufour , Frédéric Lochon
C2I 2004, 3ème Colloque Interdisciplinaire en Instrumentation, 2004, France. pp.1
Communication dans un congrès hal-00183276v1

Strong-axis bending mode vibrations for resonant microcantilever (bio)chemical sensors in gas or liquid phase

 Isabelle Dufour , Stephen Heinrich , Fabien Josse
Proceedings of the 2004 IEEE International Frequency Control Symposium, 2004, Canada. pp.1
Communication dans un congrès hal-00183277v1
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Transfer of III-nitride epitaxial layers onto pre-patterned silicon substrates for the simple fabrication of free-standing MEMS

 Rajat Gujrati , Ali Kassem , Cédric Ayela , Fabrice Mathieu , Liviu Nicu , et al.
Applied Physics Letters, 2024, 124 (10), pp.104102. ⟨10.1063/5.0191772⟩
Article dans une revue hal-04495378v1

PRInted Microelectromechanical Systems (PRIMS) Team of the IMS Laboratory: Microcantilever-based sensors

 Cédric Ayela , Benjamin Caillard , Hélène Debéda , Isabelle Dufour , Claude Lucat , et al.
6èmes Journées Franco-espagnoles IBERNAM-CMC2 Micro and nanosensors and microsystems, 2012, Marseille, France. 2 p
Communication dans un congrès hal-00750336v1

Fluidic microsystems

 Isabelle Dufour , Olivier Français
Microfluidics - Fluid Flow at Microscale, ISTE, pp.345-384, 2010
Chapitre d'ouvrage hal-00473273v1

Simple and rapid method to fabricate organic microcantilevers based on a sacrificial layer technique

 Georges Dubourg , Ludivine Fadel-Taris , Isabelle Dufour , Bernard Plano , Karsten Haupt , et al.
MNE 2010, 36th International Conference on Micro & Nano Engineering, 2010, Genoa, Italy. 1 page
Communication dans un congrès hal-00507538v1

Resonant Micro-cantilever devices for gas sensing

 Hélène Debéda , Isabelle Dufour
Eduard Llobet. Advanced Nanomaterials for Inexpensive Gas Microsensors Synthesis, Integration and Applications, Elsevier, pp.161-188, 2019, Micro and Nano Technologies, 9780128148273
Chapitre d'ouvrage hal-02366938v1

Gas detection in binary mixture by time of flight measurement made by the use of CMUTs

 Luis Iglesias , Priyadarshini Shanmugam , Steven Pena , J.-F. Michaud , Daniel Alquier , et al.
Workshop MUT 2019, 2019, Grenoble, France
Communication dans un congrès hal-02191737v1

Dispositif et procédé de détection d’hydrogène

 Luis Iglesias Hernandez , Dominique Certon , Jean-François Michaud , Priyadarshini Shanmugam , Laurent Colin , et al.
France, N° de brevet: FR2009222. 2020
Brevet hal-02978825v1

Unusual behavior of uncoated thick-film PZT cantilevers towards fluid phases sensing. Application to water and ethanol detection

 Riadh Lakhmi , Claude Lucat , Isabelle Dufour , Hélène Debéda
17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers'2013, 2013, Barcelone, Spain. pp.1142 - 1145, ⟨10.1109/Transducers.2013.6626974⟩
Communication dans un congrès hal-00796189v1

Introduction of a General Model for the Resonance Parameters of Fluid Sensors and Validation with Recent Sensor Setups

 Martin Heinisch , T. Voglhuber-Brunnmaier , Erwin Reichel , Isabelle Dufour , Bernhard Jakoby
IEEE Sensors 2014, 2014, Valence, Spain. 4 p
Communication dans un congrès hal-01011607v1

Proof of concept and preliminary results of gas detection by measuring the admittance at the resonance and anti-resonance of an uncoated CMUT

 Luis Iglesias , Priyadarshini Shanmugam , Jean-François Michaud , Daniel Alquier , Dominique Certon , et al.
Frontiers of Mechanical Engineering, 2020, ⟨10.3389/fmech.2020.00014⟩
Article dans une revue hal-02505916v1

U-shaped wire based resonators for mass density and viscosity sensing

 Martin Heinisch , Erwin Reichel , Ali Abdallah , Stefan Clara , Bernhard Jakoby , et al.
IEEE Sensors Conference, 2015, Busan, South Korea
Communication dans un congrès hal-01224540v1
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