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Hugues Granier : la liste de mes publications


Journal articles2 documents

  • David Bourrier, Ayad Ghannam, Monique Dilhan, Hugues Granier. Potential of BPN as a new negative photoresist for a very thick layer with high aspect ratio. Microsystem Technologies, Springer Verlag, 2014, 20 (10-11), pp.2089 - 2096. ⟨10.1007/s00542-014-2071-5⟩. ⟨hal-01873715⟩
  • David Bourrier, Monique Dilhan, Ayad Ghannam, Lamine Ourak, Hugues Granier. BPN a new thick negative photoresist with high aspect ratio for MEMS applications. Microsystem Technologies, Springer Verlag, 2012, 19 (3), pp.419 - 423. ⟨10.1007/s00542-012-1648-0⟩. ⟨hal-01873690⟩

Conference papers6 documents

  • Hugues Granier, Monique Dilhan. Auditable invoicing of audited rates: a methodology for funding of an academic platform operations. European Nanofabrication Research Infrastrcutures Symposium, Jun 2019, Erschende, Netherlands. ⟨hal-02159848⟩
  • Hugues Granier, Michel de Labachelerie, Isabelle Sagnes, Caroline Boisard. Presentation of “Renatech”, the French network of academic microfabrication clean-rooms. ENRIS (European Nanofabrication Research Infrastructure Symposium) 2017, Nordic Nanolab Network, May 2017, Trondheim, Norway. ⟨hal-01525171⟩
  • David Bourrier, Monique Dilhan, Hugues Granier, Arnaud Durlach. Les dépôts électrolytiques appliqués aux micro-dispositifs au LAAS. Journée Toulousaine d'Electrochimie (JTE 2016), Jul 2016, Toulouse, France. ⟨hal-01873836⟩
  • David Bourrier, Monique Dilhan, Ayad Ghannam, Hugues Granier. Comparisons of the new thick negative resist to Su8 resist. SPIE Advanced Lithography, Feb 2011, San Jose, United States. ⟨10.1117/12.870496⟩. ⟨hal-01873319⟩
  • David Colin, Djaffar Belharet, Pascal Dubreuil, Laurent Mazenq, Hugues Granier. Temporary adhesives for wafer bonding: deep reactive ion etching application. European Microelectronics and Packaging Conference (EMPC 2009), Jun 2009, Rimini, Italy. ⟨hal-03167904⟩
  • Isabelle Bertrand, Vasanta Pathirana, Éric Imbernon, Florin Udrea, Marise Bafleur, et al.. New lateral DMOS and IGBT structures realized on a partial SOI substrate based on LEGO process. Bipolar/BiCMOS Circuits and Technology Meeting (BCTM2005), Oct 2005, Santa Barbara, United States. pp.74-77. ⟨hal-00385958⟩

Reports4 documents

  • Séverine Vivies, Adrian Laborde, Julien Joneau, Laurent Mazenq, Hugues Granier. Mise au point d'un dépôt HMDS sur la plaque OBDUCAT QS V 200 BM. [Rapport Technique] LAAS-CNRS. 2018. ⟨hal-02572420⟩
  • Ludovic Salvagnac, Hugues Granier, Séverine Vivies, Véronique Conédéra. Suivi de la réalisation du projet Thermie au 30 juin 2018. Région Occitanie. 2018. ⟨hal-02285816⟩
  • Quentin Gravelier, Alexandre Arnoult, Guy Lacoste, Hugues Granier. Notice Technique : Procédure d'entrée de molybloc dans la chambre d'introduction réacteurs MBE 32 et MBE 2300 . [Rapport Technique] Rapport LAAS n° 17205, LAAS-CNRS. 2017, 10p. ⟨hal-01542690v2⟩
  • Quentin Gravelier, Alexandre Arnoult, Guy Lacoste, Hugues Granier. Notice Technique : Procédure de sortie de molybloc de la chambre d'introduction réacteurs MBE 32 et MBE 2300. [Rapport Technique] Rapport LAAS n° 17207, LAAS-CNRS. 2017. ⟨hal-01542655v2⟩

Other reports12 documents

  • Hugues Granier, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, et al.. Bilan des activités 2019 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 21084. 2020. ⟨hal-03187781⟩
  • Hugues Granier, Monique Dilhan. Détermination du coût complet 2019 et élaboration des tarifs pour les produits et prestations de la plateforme de micro et nanotechnologies du CNRS-LAAS. Rapport LAAS n° 21085. 2020. ⟨hal-03187772⟩
  • Hugues Granier, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, et al.. Bilan 2018 des activités de la centrale de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS et du service TEAM. Rapport LAAS n° 19151. 2019. ⟨hal-02137930⟩
  • Julien Joneau, Laurent Mazenq, Séverine Vivies, Adrian Laborde, Hugues Granier. Mise au point de procédés de lithographie UV sur l'équipement Suss Microtec MA-BA6 Gen4. Rapport LAAS n° 18348. 2018. ⟨hal-01911255⟩
  • Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Un bilan des activités 2017 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 18107. 2018. ⟨hal-01767583⟩
  • Marianne Brillat, Inès Massiot, Laurent Mazenq, Adrian Laborde, Olivier Gauthier-Lafaye, et al.. Développement d'un procédé de gravure submicronique : Approche basée sur les copolymères à blocs auto-assemblés. Rapport LAAS n° 17669. 2017. ⟨hal-01911188⟩
  • Hugues Granier, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon, et al.. Bilan des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 17056. 2017. ⟨hal-01485548⟩
  • Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre, et al.. Bilan 2015 des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 16053. 2016. ⟨hal-01867462⟩
  • Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre, et al.. Bilan 2014 des zones de la plateforme de micro et nanotechnologies. Rapport LAAS n°15168. 2015, 105p. ⟨hal-01867464⟩
  • Hugues Granier, Monique Dilhan, Christine Fourcade. Détermination du coût complet et élaboration des tarifs 2014 pour les produits et prestations de la plateforme de micro et nanotechnologies du CNRS-LAAS. Rapport LAAS N°14518. 2014. ⟨hal-01413101⟩
  • Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Protocole d'arrêt général de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 14267. 2014. ⟨hal-01867458⟩
  • Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre, et al.. Plate forme de micro et nanotechnologies Bilan 2013 des zones. Rapport LAAS n° 14772. 2014, 108p. ⟨hal-01867468⟩

Theses1 document

  • Hugues Granier. Optimisation technologique des transistors bipolaires hyperfréquence de puissance à hétérojonction GaAs/GaAlAs. Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Paul Sabatier - Toulouse III, 1995. Français. ⟨tel-00146678⟩