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Hugues Granier

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Publications

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Micron-to-Submicron Cu electroplating in view of Agile-X LSI Chips Fabrication using Open Facility

Naonobu Shimamoto , Ayako Mizushima , David Bourrier , Etsuko Ota , Akio Higo
ENRIS 2023, Renatech Euronanolab, May 2023, Paris Saclay, France
Communication dans un congrès hal-04131037v1

Optimization of the energy consumption of the LAAS-CNRS micro and nanotechnologies platform

Hugues Granier , Eric Tasselli , Guillaume Tanneau , Emmanuel Vialan , Laurent Bouscayrol
ENRIS 2023, C2N; Euronanolab; Renatech, May 2023, Saclay, France
Communication dans un congrès hal-04104768v1
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Clean room engineers' exchanges: a win/win international collaboration

David Bourrier , Ayako Mizushima , Naonobu Shimamoto , Etsuko Ota , Hugues Granier
ENRIS, May 2023, Paris, Saclay, France
Communication dans un congrès hal-04476508v1
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Technology transfer of supercritical fluid deposition technology from research group to use in open nanotechnology facilities

Etsuko Ota , David Bourrier , Naoto Usami , Ayako Mizushima , Naonobu Shimamoto
ENRIS 2023, Renatech Euronanolab, May 2023, Paris Saclay, France
Communication dans un congrès hal-04131030v1

Chip or Wafer -Small quantity fabrication

Shun Yasunaga , David Bourrier , Naonobu Shimamoto , Ayako Mizushima , Hugues Granier
3rd European Symposium on Nanofabrication Research Infrastructure - ENRIS 2023, Renatech Euronanolab, May 2023, Paris Saclay, France
Communication dans un congrès hal-04131044v1

Programme et Equipement Prioritaire de Recherche (PEPR) d’accélération électronique

Thomas Baron , Hugues Granier , David Henry
Journée Technique : Solutions Innovantes pour le Packaging Electronique, Dec 2022, Palaiseau, France
Communication dans un congrès hal-04224432v1

Auditable invoicing of audited rates: a methodology for funding of an academic platform operations

Hugues Granier , Monique Dilhan
European Nanofabrication Research Infrastrcutures Symposium, Jun 2019, Erschende, Netherlands
Communication dans un congrès hal-02159848v1

Presentation of “Renatech”, the French network of academic microfabrication clean-rooms

Hugues Granier , Michel de Labachelerie , Isabelle Sagnes , Caroline Boisard
ENRIS (European Nanofabrication Research Infrastructure Symposium) 2017, Nordic Nanolab Network, May 2017, Trondheim, Norway
Communication dans un congrès hal-01525171v1

Les dépôts électrolytiques appliqués aux micro-dispositifs au LAAS

David Bourrier , Monique Dilhan , Hugues Granier , Arnaud Durlach
Journée Toulousaine d'Electrochimie (JTE 2016), Jul 2016, Toulouse, France
Communication dans un congrès hal-01873836v1
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Comparisons of the new thick negative resist to Su8 resist

David Bourrier , Monique Dilhan , Ayad Ghannam , Hugues Granier
SPIE Advanced Lithography, Feb 2011, San Jose, United States. ⟨10.1117/12.870496⟩
Communication dans un congrès hal-01873319v1

Temporary adhesives for wafer bonding: deep reactive ion etching application

David Colin , Djaffar Belharet , Pascal Dubreuil , Laurent Mazenq , Hugues Granier
European Microelectronics and Packaging Conference (EMPC 2009), Jun 2009, Rimini, Italy
Communication dans un congrès hal-03167904v1
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New lateral DMOS and IGBT structures realized on a partial SOI substrate based on LEGO process

Isabelle Bertrand , Vasanta Pathirana , Éric Imbernon , Florin Udrea , Marise Bafleur
Bipolar/BiCMOS Circuits and Technology Meeting (BCTM2005), Oct 2005, Santa Barbara, United States. pp.74-77
Communication dans un congrès hal-00385958v1
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Moyens de lithographies de la plateforme de Micro et Nanotechnologies du LAAS-CNRS

Laurent Mazenq , Franck Carcenac , Pierre-François Calmon , Emmanuelle Daran , Adrian Laborde
Renatech Litho Gravure, Jan 2023, Lille, France. 2023
Poster de conférence hal-03976338v1
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Action concertée transverse PAC: PACkaging et interfaçage électronique

Hugues Granier , Henry David
Lancement et première journée scientifique annuelle du PEPR Électronique, Mar 2023, Poitiers, France
Poster de conférence hal-04389001v1

Guide d'utilisation du profilomètre optique SNEOX

Mairame Diallo , Benjamin Reig , Hugues Granier
Rapport LAAS n° 23366. 2023
Autre rapport, séminaire, workshop hal-04235737v1
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Bilan des activités 2022 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS

Hugues Granier , Alexandre Arnoult , David Bourrier , Laurent Bouscayrol , Pierre-François Calmon
Rapport LAAS n° 23229. 2023
Autre rapport, séminaire, workshop hal-04124098v1
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Bilan des activités 2021 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS

Alexandre Arnoult , David Bourrier , Laurent Bouscayrol , Pierre-François Calmon , Franck Carcenac
Rapport LAAS n° 22125. 2022
Autre rapport, séminaire, workshop hal-03646902v1
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Bilan des activités 2020 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS

Hugues Granier , Alexandre Arnoult , David Bourrier , Laurent Bouscayrol , Pierre-François Calmon
Rapport LAAS n° 21194. 2021
Autre rapport, séminaire, workshop hal-03263205v1
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Détermination du coût complet 2019 et élaboration des tarifs pour les produits et prestations de la plateforme de micro et nanotechnologies du CNRS-LAAS

Hugues Granier , Monique Dilhan
Rapport LAAS n° 21085. 2020
Autre rapport, séminaire, workshop hal-03187772v1
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Bilan des activités 2019 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS

Hugues Granier , Franck Carcenac , Pierre-François Calmon , Véronique Conédéra , Monique Dilhan
Rapport LAAS n° 21084. 2020
Autre rapport, séminaire, workshop hal-03187781v1
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Bilan 2018 des activités de la centrale de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS et du service TEAM

Hugues Granier , Pierre-François Calmon , Franck Carcenac , Véronique Conédéra , Monique Dilhan
Rapport LAAS n° 19151. 2019
Autre rapport, séminaire, workshop hal-02137930v1
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Un bilan des activités 2017 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS

Hugues Granier , Alexandre Arnoult , David Bourrier , Laurent Bouscayrol , Pierre-François Calmon
Rapport LAAS n° 18107. 2018
Autre rapport, séminaire, workshop hal-01767583v1
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Mise au point de procédés de lithographie UV sur l'équipement Suss Microtec MA-BA6 Gen4

Julien Joneau , Laurent Mazenq , Séverine Vivies , Adrian Laborde , Hugues Granier
Rapport LAAS n° 18348. 2018
Autre rapport, séminaire, workshop hal-01911255v1
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Bilan des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS

Hugues Granier , Véronique Conédéra , Monique Dilhan , Franck Carcenac , Pierre-François Calmon
Rapport LAAS n° 17056. 2017
Autre rapport, séminaire, workshop hal-01485548v1
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Développement d'un procédé de gravure submicronique : Approche basée sur les copolymères à blocs auto-assemblés

Marianne Brillat , Inès Massiot , Laurent Mazenq , Adrian Laborde , Olivier Gauthier-Lafaye
Rapport LAAS n° 17669. 2017
Autre rapport, séminaire, workshop hal-01911188v1
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Bilan 2015 des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS

Hugues Granier , Adrian Laborde , Alexandre Arnoult , Antoine Maiorano , Aurélie Lecestre
Rapport LAAS n° 16053. 2016
Autre rapport, séminaire, workshop hal-01867462v1
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Bilan 2014 des zones de la plateforme de micro et nanotechnologies

Hugues Granier , Adrian Laborde , Alexandre Arnoult , Antoine Maiorano , Aurélie Lecestre
Rapport LAAS n°15168. 2015, 105p
Autre rapport, séminaire, workshop hal-01867464v1
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Détermination du coût complet et élaboration des tarifs 2014 pour les produits et prestations de la plateforme de micro et nanotechnologies du CNRS-LAAS

Hugues Granier , Monique Dilhan , Christine Fourcade
Rapport LAAS N°14518. 2014
Autre rapport, séminaire, workshop hal-01413101v1
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Plate forme de micro et nanotechnologies Bilan 2013 des zones

Hugues Granier , Adrian Laborde , Alexandre Arnoult , Antoine Maiorano , Aurélie Lecestre
Rapport LAAS n° 14772. 2014, 108p
Autre rapport, séminaire, workshop hal-01867468v1
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Protocole d'arrêt général de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS

Hugues Granier , Alexandre Arnoult , David Bourrier , Laurent Bouscayrol , Pierre-François Calmon
Rapport LAAS n° 14267. 2014
Autre rapport, séminaire, workshop hal-01867458v1
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Optimisation technologique des transistors bipolaires hyperfréquence de puissance à hétérojonction GaAs/GaAlAs

Hugues Granier
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Paul Sabatier - Toulouse III, 1995. Français. ⟨NNT : ⟩
Thèse tel-00146678v1