Frédérick Mailly

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	Pirani Pressure Sensor for Smart Wafer-Level Packaging Frédérick Mailly , Norbert Dumas , Nicolas Pous , Laurent Latorre , Olivier Garel Sensors and Actuators A: Physical , 2009, 156 (1), pp.201-207. ⟨10.1016/j.sna.2009.02.013⟩ Article dans une revue lirmm-00368631v1

	Pressure Sensor for Smart Wafer-Level Packaging of MEMS Nicolas Pous , Frédérick Mailly , Laurent Latorre , Emile Martincic , Fabrice Verjus EUROSENSORS, Sep 2008, Dresden, Germany. 22nd European Conference on Solid-State Transducers, pp.408-411, 2008 Poster de conférence lirmm-00325109v1