Christophe Malhaire
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Documents
Présentation
Christophe Malhaire est né en 1967. En 1998, il obtient le grade de docteur ès sciences de l’INSA de Lyon pour ses travaux au Laboratoire de Physique de la Matière sur le comportement thermomécanique de capteurs de pression piézorésistifs pour environnements sévères. Nommé maître de conférences en 1998, il poursuit ses recherches au LPM dans le domaine des Micro-Systèmes ElectroMécaniques dans l’équipe Micro-Nano-Systèmes et Intégration Fonctionnelle du Pr. Daniel Barbier. Il développe une spécificité dans l’étude des propriétés mécaniques des matériaux en films minces et du comportement de microstructures déformables. Il s’intéresse aussi aux actionneurs et capteurs MEMS piézoélectriques, à la fiabilité des capteurs pour environnements sévères et à l’intégration du silicium nanostructuré dans des dispositifs microfluidiques. Il soutient son HDR en 2006. En 2009, après la création de l’Institut des Nanotechnologies de Lyon (UMR 5270), il rejoint l’équipe Dispositifs Électroniques. Il y développe de nouvelles méthodes de caractérisation et structures de tests mécaniques originales et étend ses recherches aux actionneurs à films polymères nanocomposites, aux MEMS pour la récupération d’énergie et aux jauges de déformations à haute sensibilité. Ses compétences concernent le développement de bancs de mesures, la profilométrie optique, la vibrométrie, les simulations par éléments finis, les microtechnologies silicium. Il a (co)encadré 10 thèses, a été rapporteur de 9 thèses, a porté ou participé à une vingtaine de projets de recherche, et est (co)auteur d'une trentaine d'articles de revues internationales et d'une trentaine d'articles de conférences avec comité de lecture.
Christophe MALHAIRE was born in 1967. He is assistant professor at the engineers school INSA Lyon, France, and researcher at the Department of Electronic, in the Electronic Devices research group, of the Lyon Institute of Nanotechnology (INL, CNRS UMR 5270). He received his PhD from INSA Lyon in 1998. He contributed to the study of the thermomechanical behaviour of piezoresistive pressure sensors for harsh environments. His research activities involve the development and the modeling of various micro-electromechanical systems (MEMS) with main focus on finite element modeling, thin film stress and elastic parameters measurements, piezoelectric actuators, MEMS reliability and thermomecanical studies of suspended microstructures.
Publications
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Portable device integrating an ultrasensitive mechanical crack-based sensor for the wireless monitoring of cardiac activity2020 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP), Jun 2020, Lyon, France. pp.1-5, ⟨10.1109/DTIP51112.2020.9139156⟩
Communication dans un congrès
hal-03344474v1
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PEALD of Pt nanoparticles: towards the development of single electron transistors and flexible strain sensorsRAFALD (Réseau des Acteurs Français de l’ALD), Nov 2018, Lyon, France
Communication dans un congrès
hal-02075020v1
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Flexible Platinum Nanoparticle-based Piezoresistive Transducers Elaborated by Atomic Layer DepositionAVS 17th International Conference on Atomic Layer Deposition, Jan 2017, Denver, United States
Communication dans un congrès
hal-01701470v1
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Study of piezo-tunnel effect in Metal/Al2O3/Metal junctions1st International Conference on Dielectrics (ICD 2016), 2016, Montpellier, France
Communication dans un congrès
hal-01489071v1
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Improved MEMS energy harvesters by localized nanostructuringJournées Nano Micro Technologies au service de l’Energie, Nov 2012, Lyon, France
Communication dans un congrès
hal-01432105v1
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Nanoindentation experiments with small tip radii: an experimental method2010 Symposium on Design Test Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), May 2010, Seville, Spain
Communication dans un congrès
hal-02049369v1
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Micro-tensile tests on micromachined metal on polymer specimens: elasticity, plasticity and ruptureDTIP 2008, Apr 2008, Nice, France. pp.8-10
Communication dans un congrès
hal-00277669v1
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On the determination of Poisson’s ratio of stressed monolayer and bilayer submicron thick filmsDTIP 2008, Apr 2008, Nice, France. pp.197-200
Communication dans un congrès
hal-00277708v1
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Comparison of bulge test and point deflection methods for the mechanical characterisation of submicron thick composite membranesTransducers'07 and Eurosensors XXI, 2007, Lyon, France
Communication dans un congrès
hal-00330548v1
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Realization of Thin Film Specimens for Micro Tensile TestsTRANSDUCERS 2007 - 2007 International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, Jun 2007, Lyon, France
Communication dans un congrès
hal-02049375v1
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DESIGN OF BOSSED SILICON MEMBRANES FOR HIGH SENSITIVITY MICROPHONE APPLICATIONSDTIP 2006, Apr 2006, Stresa, Lago Maggiore, Italy. 5 p
Communication dans un congrès
hal-00189255v1
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Mechanical cross-characterization of sputtered Inconel thin films for MEMS applicationsProceedings of the 2006 European Material Research Society Spring Meeting, 2006, Nice, France
Communication dans un congrès
hal-00369948v1
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Effet Piezo-Tunnel dans des jonctions Al/Al2O3/Al fabriquées par Atomic Layer DepositionEffet Piezo-Tunnel dans des jonctions Al/Al2O3/Al fabriquées par Atomic Layer Deposition, 2017, Strasbourg, France. 2017
Poster de conférence
hal-01701475v1
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Les jonctions MIM comme jauge de contrainteLes jonctions MIM comme jauge de contrainte, 2016, Grenoble, France. 2016
Poster de conférence
hal-01701380v1
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