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		Discharge frequency and reagents choice effects on robustness of silicon nitride (Si3N4) thin layers deposited by PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) Catheline Cazako , Karim Inal , Alain Burr , Frédéric Georgi , Rodolphe Cauro European Conference on Heat Treatment and Surface Engineering, Jun 2017, Nice, France Communication dans un congrès hal-01721378v1	Envoyer sur ORCID Exporter BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite Export avancé Partager Gmail Facebook X LinkedIn More
		Hypothetic impact of chemical bonding on the moisture resistance of amorphous SixNyHz by plasma-enhanced chemical vapor deposition Catheline Cazako , Karim Inal , Alain Burr , Frédéric Georgi , Rodolphe Cauro Metallurgical Research & Technology, 2018, 115 (4), pp.406. ⟨10.1051/metal/2018072⟩ Article dans une revue hal-02968666v1	Envoyer sur ORCID Exporter BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite Export avancé Partager Gmail Facebook X LinkedIn More
		The impact of nitrogen plasma treatments on SixNyHz moisture sensitivity Catheline Cazako , Karim Inal , Alain Burr , Frédéric Georgi Conference on Plasma Based Ion Implantation & Deposition, Oct 2017, Shanghai, France Communication dans un congrès hal-01721379v1	Envoyer sur ORCID Exporter BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite Export avancé Partager Gmail Facebook X LinkedIn More

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