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Bernard Legrand

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[Invited] MEMS-based atomic force microscopy probes: from electromechanical to optomechanical vibrating sensors

Bernard Legrand , Lucien Schwab , Pierre Allain , Ivan Favero , Marc Faucher
AVS 65th International Symposium & Exhibition, American Vacuum Society, Oct 2018, Long Beach, United States
Communication dans un congrès hal-01908666v1

Near-field microscopy: Is there an alternative to micro and nano resonating cantilevers?

Lionel Buchaillot , Estelle Mairiaux , Benjamin Walter , Zhuang Xiong , Marc Faucher
IEEE International Frequency Control Symposium, May 2014, Taipei, Taiwan. ⟨10.1109/FCS.2014.6859928⟩
Communication dans un congrès hal-01962163v1

[Invité] Apport des micro et nano-systèmes pour la microscopie à force atomique

Benjamin Walter , Zhuang Xiong , Emmanuelle Algre , Estelle Mairiaux , Marc Faucher
Journées Nationales Nanosciences et Nanotechnologies, J3N 2011, 2011, Strasbourg, France
Communication dans un congrès hal-00807204v1

[Invité] Micro et nanorésonateurs électromécaniques radio-fréquences. Principes et applications

Marc Faucher , Bernard Legrand , Benjamin Walter , Emmanuelle Algre , A. Ben-Amar
TELECOM'2011 & 7èmes Journées Franco-Maghrébines des Micro-ondes et leurs Applications, 2011, Tanger, Maroc. CDROM, papier 554, 1-6
Communication dans un congrès hal-00806730v1

4.8 MHz AFM nanoprobes with capacitive transducers and batch-fabricated nanotips

Benjamin Walter , M. Faucher , Estelle Mairiaux , Zhuang Xiong , L. Buchaillot
24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2011, Jan 2011, Cancun, Mexico. pp.517-520, ⟨10.1109/MEMSYS.2011.5734475⟩
Communication dans un congrès hal-00579045v1

4.8 MHz AFM nanoprobes with capacitive transducers and batch-fabricated nanotips

Benjamin Walter , Estelle Mairiaux , M. Faucher , Zhuang Xiong , L. Buchaillot
XXIème Congrès Général de la Société Française de Physique, SFP 2011, Jul 2011, Bordeaux, France
Communication dans un congrès hal-00807202v1

Surface microscopy with laserless MEMS based AFM probes

Emmanuelle Algre , Bernard Legrand , Marc Faucher , Benjamin Walter , Lionel Buchaillot
23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2010, Jan 2010, Hong Kong, China. pp.292-295, ⟨10.1109/MEMSYS.2010.5442509⟩
Communication dans un congrès hal-00549972v1

Tip-matter interaction measurements using MEMS ring resonators

Emmanuelle Algre , Bernard Legrand , Marc Faucher , Benjamin Walter , Lionel Buchaillot
15th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2009, Jun 2009, Denver, CO, United States. pp.1638-1641, ⟨10.1109/SENSOR.2009.5285774⟩
Communication dans un congrès hal-00474451v1

Tip-matter interaction measurements using MEMS ring resonators

Emmanuelle Algre , Bernard Legrand , Marc Faucher , Benjamin Walter , Lionel Buchaillot
Forum des Microscopies à Sonde Locale, 2009, Hardelot, France
Communication dans un congrès hal-00575264v1

Vers une nouvelle génération de sonde de microscopie à force atomique à base de micro et nano-systèmes électromécaniques

Bernard Legrand , Emmanuelle Algre , Lionel Buchaillot , Marc Faucher , Benjamin Walter
4èmes Journées Nationales en Nanosciences et Nanotechnologies, J3N 2009, 2009, Toulouse, France
Communication dans un congrès hal-00575271v1