- 8
- 1
Bernard Legrand
9
Documents
Publications
- 3
- 3
- 2
- 2
- 2
- 2
- 2
- 2
- 1
- 1
- 1
- 1
- 1
- 1
- 1
- 1
- 1
- 9
- 9
- 9
- 9
- 3
- 2
- 2
- 1
- 1
- 1
- 1
- 1
MEMS ring resonators for laserless AFM with sub-nanoNewton force resolutionJournal of Microelectromechanical Systems, 2012, 21, pp.385-397. ⟨10.1109/JMEMS.2011.2179012⟩
Article dans une revue
hal-00787407v1
|
|
Design and operation of a silicon ring resonator for force sensing applications above 1 MHzJournal of Micromechanics and Microengineering, 2009, 19 (11), pp.115009-1-7. ⟨10.1088/0960-1317/19/11/115009⟩
Article dans une revue
hal-00472725v1
|
Near-field microscopy: Is there an alternative to micro and nano resonating cantilevers?IEEE International Frequency Control Symposium, May 2014, Taipei, Taiwan. ⟨10.1109/FCS.2014.6859928⟩
Communication dans un congrès
hal-01962163v1
|
|
[Invité] Apport des micro et nano-systèmes pour la microscopie à force atomiqueJournées Nationales Nanosciences et Nanotechnologies, J3N 2011, 2011, Strasbourg, France
Communication dans un congrès
hal-00807204v1
|
|
[Invité] Micro et nanorésonateurs électromécaniques radio-fréquences. Principes et applicationsTELECOM'2011 & 7èmes Journées Franco-Maghrébines des Micro-ondes et leurs Applications, 2011, Tanger, Maroc. CDROM, papier 554, 1-6
Communication dans un congrès
hal-00806730v1
|
|
Surface microscopy with laserless MEMS based AFM probes23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2010, Jan 2010, Hong Kong, China. pp.292-295, ⟨10.1109/MEMSYS.2010.5442509⟩
Communication dans un congrès
hal-00549972v1
|
|
Tip-matter interaction measurements using MEMS ring resonators15th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2009, Jun 2009, Denver, CO, United States. pp.1638-1641, ⟨10.1109/SENSOR.2009.5285774⟩
Communication dans un congrès
hal-00474451v1
|
|
Tip-matter interaction measurements using MEMS ring resonatorsForum des Microscopies à Sonde Locale, 2009, Hardelot, France
Communication dans un congrès
hal-00575264v1
|
|
Vers une nouvelle génération de sonde de microscopie à force atomique à base de micro et nano-systèmes électromécaniques4èmes Journées Nationales en Nanosciences et Nanotechnologies, J3N 2009, 2009, Toulouse, France
Communication dans un congrès
hal-00575271v1
|