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Bernard Legrand
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Optomechanics: a key towards next-generation experiments in atomic force microscopy?International Conference on Quantum Metrology and Sensing, Dec 2019, Paris, France
Communication dans un congrès
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[Invited] MEMS-based atomic force microscopy probes: from electromechanical to optomechanical vibrating sensorsAVS 65th International Symposium & Exhibition, American Vacuum Society, Oct 2018, Long Beach, United States
Communication dans un congrès
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When capacitive transduction meets the thermomechanical limit: Towards femto-newton force sensors at very high frequency28th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2015, Jan 2015, Estoril, Portugal. ⟨10.1109/MEMSYS.2015.7050908⟩
Communication dans un congrès
hal-01962374v1
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Near-field microscopy: Is there an alternative to micro and nano resonating cantilevers?IEEE International Frequency Control Symposium, May 2014, Taipei, Taiwan. ⟨10.1109/FCS.2014.6859928⟩
Communication dans un congrès
hal-01962163v1
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Towards a new generation of MEMS-based AFM probesInternational Scanning Probe Microscopy Conference, ISPM 2013, 2013, Dijon, France
Communication dans un congrès
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5.4 MHz dog-bone oscillating AFM probe with thermal actuation and piezoresistive detection26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2013, 2013, Taipei, Taiwan. pp.592-595, ⟨10.1109/MEMSYS.2013.6474311⟩
Communication dans un congrès
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Piezo-resistive ring-shaped AFM sensors with pico-newton force resolution2nd International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale, 3M-NANO 2012, 2012, Xi'an, China. Paper ID 1200991, Best application paper award, 184-189
Communication dans un congrès
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Micro-résonateurs haute fréquence pour la microscopie à force atomiqueJournées Nationales du GDR Micro Nano Systèmes-Micro Nano Fluidique, 2012, Bordeaux, France
Communication dans un congrès
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Micro-résonateurs haute fréquence pour la microscopie à force atomique15ème Forum des Microscopies à Sonde Locale, 2012, Saint-Jacut-de-la-Mer, France
Communication dans un congrès
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[Invité] Apport des microsystèmes pour la microscopie à force atomiqueJournée thématique trans-GDR '' Micromanipulation pour les Micro-Nano Systèmes '', 2012, Besançon, France
Communication dans un congrès
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Conception and fabrication of piezo-resistive ring shaped AFM probe25th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2012, 2012, Paris, France. pp.547-550, ⟨10.1109/MEMSYS.2012.6170180⟩
Communication dans un congrès
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DNA origami imaging with 10.9 MHz AFM MEMS probes25th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2012, 2012, Paris, France. pp.555-558, ⟨10.1109/MEMSYS.2012.6170236⟩
Communication dans un congrès
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Conception and fabrication of silicon ring resonator with piezo-resistive detection for force sensing applicationsASME 2011 International Mechanical Engineering Congress & Exposition, IMECE 2011, 2011, Denver, CO, United States. pp.IMECE2011-65083-1-5
Communication dans un congrès
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[Invité] Micro et nanorésonateurs électromécaniques radio-fréquences. Principes et applicationsTELECOM'2011 & 7èmes Journées Franco-Maghrébines des Micro-ondes et leurs Applications, 2011, Tanger, Maroc. CDROM, papier 554, 1-6
Communication dans un congrès
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4.8 MHz AFM nanoprobes with capacitive transducers and batch-fabricated nanotips24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2011, Jan 2011, Cancun, Mexico. pp.517-520, ⟨10.1109/MEMSYS.2011.5734475⟩
Communication dans un congrès
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4.8 MHz AFM nanoprobes with capacitive transducers and batch-fabricated nanotipsXXIème Congrès Général de la Société Française de Physique, SFP 2011, Jul 2011, Bordeaux, France
Communication dans un congrès
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[Invité] Apport des micro et nano-systèmes pour la microscopie à force atomiqueJournées Nationales Nanosciences et Nanotechnologies, J3N 2011, 2011, Strasbourg, France
Communication dans un congrès
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Surface microscopy with laserless MEMS based AFM probes23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2010, Jan 2010, Hong Kong, China. pp.292-295, ⟨10.1109/MEMSYS.2010.5442509⟩
Communication dans un congrès
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Conception and fabrication of silicon ring resonator with piezo-resistive detection for force sensing applications5èmes Journées Nationales du GDR Micro et Nano Systèmes, 2010, Lyon, France
Communication dans un congrès
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Improve-LM imaging probe for vacuum environment and liquid mediumJournées du Réseau National en Nanosciences et en Nanotechnologies, J3N 2010, 2010, Lille, France
Communication dans un congrès
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Atomic force probe using silicon ring resonator conception5èmes Journées Nationales du GDR Micro et Nano Systèmes, 2010, Lyon, France
Communication dans un congrès
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Vers une nouvelle génération de sonde de microscopie à force atomique à base de micro et nano-systèmes électromécaniques4èmes Journées Nationales en Nanosciences et Nanotechnologies, J3N 2009, 2009, Toulouse, France
Communication dans un congrès
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Tip-matter interaction measurements using MEMS ring resonators15th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2009, Jun 2009, Denver, CO, United States. pp.1638-1641, ⟨10.1109/SENSOR.2009.5285774⟩
Communication dans un congrès
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Tip-matter interaction measurements using MEMS ring resonatorsForum des Microscopies à Sonde Locale, 2009, Hardelot, France
Communication dans un congrès
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Characterization of IN-IC integrable in-plane nanometer scale resonators fabricated by a silicon on nothing advanced CMOS technology21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2008, Jan 2008, Tucson - AZ, United States. pp.1016-1019, ⟨10.1109/MEMSYS.2008.4443831⟩
Communication dans un congrès
cea-00320830v1
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High yield grafting of carbon nanotube on ultra-sharp silicon nanotips: Mechanical characterization and AFM imaging20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2007), 2007, Unknown, Unknown Region. pp.878-+
Communication dans un congrès
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High yield grafting of carbon nanotube on ultra-sharp silicon nanotips : mechanical characterization and AFM imaging20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2007, 2007, Japan. pp.851-854, ⟨10.1109/MEMSYS.2007.4433179⟩
Communication dans un congrès
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Proposition of atomic force probes based on silicon ring-resonators14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers'07, 2007, France. pp.1529-1532, ⟨10.1109/SENSOR.2007.4300436⟩
Communication dans un congrès
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ELECTROSTATIC ACTUATORS OPERATING IN LIQUID ENVIRONMENT : SUPPRESSION OF PULL-IN INSTABILITY AND DYNAMIC RESPONSEDTIP 2006, Apr 2006, Stresa, Lago Maggiore, Italy. 6 p
Communication dans un congrès
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Electrostatic actuators operating in liquid environment: suppression of pull-in instability and dynamic response2006, pp.244-249
Communication dans un congrès
hal-00128674v1
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Micro et nanorésonateurs radio-fréquenceLeray J.L., Boudenot J.C., Gautier J. La micro-nano électronique, enjeux et mutations, CNRS ÉDITIONS, pp.239-242, 2009
Chapitre d'ouvrage
hal-00575789v1
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Sonde pour microscopie à force atomiqueN° de brevet: FR2915803 (A1). 2008
Brevet
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