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Bernard Legrand

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marc-faucher
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Optomechanical Resonating Probe for Very High Speed Sensing of Atomic Forces

Pierre Etienne Allain , Lucien Schwab , Colin Mismer , Marc Gély , Estelle Mairiaux
Nanoscale, 2020, 12 (5), pp.2939-2945. ⟨10.1039/C9NR09690F⟩
Article dans une revue hal-01908683v1
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Optomechanical resonating probe for very high frequency sensing of atomic forces

Pierre Etienne Allain , Lucien Schwab , Colin Mismer , Marc Gely , Estelle Mairiaux
Nanoscale, 2020, 12 (5), pp.2939-2945. ⟨10.1039/c9nr09690f⟩
Article dans une revue hal-02997481v1
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Multi-MHz micro-electro-mechanical sensors for atomic force microscopy

Bernard Legrand , Jean-Paul Salvetat , Benjamin Walter , Marc Faucher , Didier Theron
Ultramicroscopy, 2017, 175, pp.46 - 57. ⟨10.1016/j.ultramic.2017.01.005⟩
Article dans une revue hal-01765180v1
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A Novel Dog-Bone Oscillating AFM Probe with Thermal Actuation and Piezoresistive Detection

Zhuang Xiong , Estelle Mairiaux , Benjamin Walter , Marc Faucher , Lionel Buchaillot
Sensors, 2014, 14 (11), pp.20667-20686. ⟨10.3390/s141120667⟩
Article dans une revue hal-01960848v1

Two types of MEMS-based oscillating AFM probes

Zhuang Xiong , Estelle Mairiaux , Benjamin Walter , Marc Faucher , Lionel Buchaillot
Journal of Chinese Electron Microscopy Society , 2014, 2, pp.137-141
Article dans une revue hal-01960910v1

Piezoresistive ring-shaped AFM sensors with pico-newton force resolution

Z. Xiong , B. Walter , E. Mairiaux , M. Faucher , L. Buchaillot
International Journal of Intelligent Mechatronics and Robotics, 2013, 3, pp.38-52. ⟨10.4018/ijimr.2013010104⟩
Article dans une revue hal-00871948v1

MEMS piezoresistive ring resonator for AFM imaging with pico-Newton force resolution

Z. Xiong , B. Walter , E. Mairiaux , M. Faucher , L. Buchaillot
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2013, 23, pp.035016-1-10. ⟨10.1088/0960-1317/23/3/035016⟩
Article dans une revue hal-00795965v1

MEMS ring resonators for laserless AFM with sub-nanoNewton force resolution

Emmanuelle Algre , Zhuang Xiong , Marc Faucher , Benjamin Walter , Lionel Buchaillot
Journal of Microelectromechanical Systems, 2012, 21, pp.385-397. ⟨10.1109/JMEMS.2011.2179012⟩
Article dans une revue hal-00787407v1

Electron beam nanolithography in AZnLOF 2020

E. Herth , P. Tilmant , M. Faucher , M. François , Christophe Boyaval
Microelectronic Engineering, 2010, 87, pp.2057-2060. ⟨10.1016/j.mee.2009.12.079⟩
Article dans une revue hal-00548989v1

Development of a new generation of active AFM tools for applications in liquids

A.S. Rollier , D.F.L. Jenkins , El Hadj Dogheche , Bernard Legrand , M. Faucher
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2010, 20, pp.085010-1-11. ⟨10.1088/0960-1317/20/8/085010⟩
Article dans une revue hal-00548990v1

Design and operation of a silicon ring resonator for force sensing applications above 1 MHz

Benjamin Walter , Marc Faucher , Emmanuelle Algre , Bernard Legrand , Rodolphe Boisgard
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2009, 19 (11), pp.115009-1-7. ⟨10.1088/0960-1317/19/11/115009⟩
Article dans une revue hal-00472725v1

Optomechanics: a key towards next-generation experiments in atomic force microscopy?

Lucien Schwab , Pierre Allain , Didier Theron , Marc Faucher , Benjamin Walter
International Conference on Quantum Metrology and Sensing, Dec 2019, Paris, France
Communication dans un congrès hal-02407634v1

[Invited] MEMS-based atomic force microscopy probes: from electromechanical to optomechanical vibrating sensors

Bernard Legrand , Lucien Schwab , Pierre Allain , Ivan Favero , Marc Faucher
AVS 65th International Symposium & Exhibition, American Vacuum Society, Oct 2018, Long Beach, United States
Communication dans un congrès hal-01908666v1

When capacitive transduction meets the thermomechanical limit: Towards femto-newton force sensors at very high frequency

S. Houmadi , Bernard Legrand , J.P. Salvetat , B. Walter , E. Mairiaux
28th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2015, Jan 2015, Estoril, Portugal. ⟨10.1109/MEMSYS.2015.7050908⟩
Communication dans un congrès hal-01962374v1

Near-field microscopy: Is there an alternative to micro and nano resonating cantilevers?

Lionel Buchaillot , Estelle Mairiaux , Benjamin Walter , Zhuang Xiong , Marc Faucher
IEEE International Frequency Control Symposium, May 2014, Taipei, Taiwan. ⟨10.1109/FCS.2014.6859928⟩
Communication dans un congrès hal-01962163v1

Towards a new generation of MEMS-based AFM probes

Z. Xiong , B. Walter , E. Mairiaux , M. Faucher , L. Buchaillot
International Scanning Probe Microscopy Conference, ISPM 2013, 2013, Dijon, France
Communication dans un congrès hal-00878807v1

5.4 MHz dog-bone oscillating AFM probe with thermal actuation and piezoresistive detection

Z. Xiong , E. Mairiaux , B. Walter , M. Faucher , L. Buchaillot
26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2013, 2013, Taipei, Taiwan. pp.592-595, ⟨10.1109/MEMSYS.2013.6474311⟩
Communication dans un congrès hal-00809858v1

Piezo-resistive ring-shaped AFM sensors with pico-newton force resolution

Z. Xiong , B. Walter , E. Mairiaux , M. Faucher , L. Buchaillot
2nd International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale, 3M-NANO 2012, 2012, Xi'an, China. Paper ID 1200991, Best application paper award, 184-189
Communication dans un congrès hal-00801105v1

Micro-résonateurs haute fréquence pour la microscopie à force atomique

B. Walter , M. Faucher , E. Mairiaux , Z. Xiong , L. Buchaillot
Journées Nationales du GDR Micro Nano Systèmes-Micro Nano Fluidique, 2012, Bordeaux, France
Communication dans un congrès hal-00797720v1

Micro-résonateurs haute fréquence pour la microscopie à force atomique

B. Walter , M. Faucher , E. Mairiaux , Z. Xiong , L. Buchaillot
15ème Forum des Microscopies à Sonde Locale, 2012, Saint-Jacut-de-la-Mer, France
Communication dans un congrès hal-00797718v1

[Invité] Apport des microsystèmes pour la microscopie à force atomique

B. Walter , M. Faucher , E. Mairiaux , Z. Xiong , L. Buchaillot
Journée thématique trans-GDR '' Micromanipulation pour les Micro-Nano Systèmes '', 2012, Besançon, France
Communication dans un congrès hal-00797716v1

Conception and fabrication of piezo-resistive ring shaped AFM probe

Z. Xiong , B. Walter , E. Mairiaux , M. Faucher , L. Buchaillot
25th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2012, 2012, Paris, France. pp.547-550, ⟨10.1109/MEMSYS.2012.6170180⟩
Communication dans un congrès hal-00801106v1

DNA origami imaging with 10.9 MHz AFM MEMS probes

B. Walter , E. Mairiaux , Z. Xiong , M. Faucher , L. Buchaillot
25th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2012, 2012, Paris, France. pp.555-558, ⟨10.1109/MEMSYS.2012.6170236⟩
Communication dans un congrès hal-00801107v1

Conception and fabrication of silicon ring resonator with piezo-resistive detection for force sensing applications

Z. Xiong , B. Walter , E. Mairiaux , M. Faucher , L. Buchaillot
ASME 2011 International Mechanical Engineering Congress & Exposition, IMECE 2011, 2011, Denver, CO, United States. pp.IMECE2011-65083-1-5
Communication dans un congrès hal-00800036v1

[Invité] Micro et nanorésonateurs électromécaniques radio-fréquences. Principes et applications

Marc Faucher , Bernard Legrand , Benjamin Walter , Emmanuelle Algre , A. Ben-Amar
TELECOM'2011 & 7èmes Journées Franco-Maghrébines des Micro-ondes et leurs Applications, 2011, Tanger, Maroc. CDROM, papier 554, 1-6
Communication dans un congrès hal-00806730v1

4.8 MHz AFM nanoprobes with capacitive transducers and batch-fabricated nanotips

Benjamin Walter , M. Faucher , Estelle Mairiaux , Zhuang Xiong , L. Buchaillot
24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2011, Jan 2011, Cancun, Mexico. pp.517-520, ⟨10.1109/MEMSYS.2011.5734475⟩
Communication dans un congrès hal-00579045v1

4.8 MHz AFM nanoprobes with capacitive transducers and batch-fabricated nanotips

Benjamin Walter , Estelle Mairiaux , M. Faucher , Zhuang Xiong , L. Buchaillot
XXIème Congrès Général de la Société Française de Physique, SFP 2011, Jul 2011, Bordeaux, France
Communication dans un congrès hal-00807202v1

[Invité] Apport des micro et nano-systèmes pour la microscopie à force atomique

Benjamin Walter , Zhuang Xiong , Emmanuelle Algre , Estelle Mairiaux , Marc Faucher
Journées Nationales Nanosciences et Nanotechnologies, J3N 2011, 2011, Strasbourg, France
Communication dans un congrès hal-00807204v1

Surface microscopy with laserless MEMS based AFM probes

Emmanuelle Algre , Bernard Legrand , Marc Faucher , Benjamin Walter , Lionel Buchaillot
23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2010, Jan 2010, Hong Kong, China. pp.292-295, ⟨10.1109/MEMSYS.2010.5442509⟩
Communication dans un congrès hal-00549972v1

Conception and fabrication of silicon ring resonator with piezo-resistive detection for force sensing applications

Z. Xiong , B. Walter , E. Mairiaux , M. Faucher , L. Buchaillot
5èmes Journées Nationales du GDR Micro et Nano Systèmes, 2010, Lyon, France
Communication dans un congrès hal-00808200v1

Improve-LM imaging probe for vacuum environment and liquid medium

B. Walter , M. Faucher , Bernard Legrand , E. Mairiaux , R. Boisgard
Journées du Réseau National en Nanosciences et en Nanotechnologies, J3N 2010, 2010, Lille, France
Communication dans un congrès hal-00808210v1

Atomic force probe using silicon ring resonator conception

B. Walter , E. Mairiaux , M. Faucher , Z. Xiong , L. Buchaillot
5èmes Journées Nationales du GDR Micro et Nano Systèmes, 2010, Lyon, France
Communication dans un congrès hal-00808199v1

Vers une nouvelle génération de sonde de microscopie à force atomique à base de micro et nano-systèmes électromécaniques

Bernard Legrand , Emmanuelle Algre , Lionel Buchaillot , Marc Faucher , Benjamin Walter
4èmes Journées Nationales en Nanosciences et Nanotechnologies, J3N 2009, 2009, Toulouse, France
Communication dans un congrès hal-00575271v1

Tip-matter interaction measurements using MEMS ring resonators

Emmanuelle Algre , Bernard Legrand , Marc Faucher , Benjamin Walter , Lionel Buchaillot
15th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2009, Jun 2009, Denver, CO, United States. pp.1638-1641, ⟨10.1109/SENSOR.2009.5285774⟩
Communication dans un congrès hal-00474451v1

Tip-matter interaction measurements using MEMS ring resonators

Emmanuelle Algre , Bernard Legrand , Marc Faucher , Benjamin Walter , Lionel Buchaillot
Forum des Microscopies à Sonde Locale, 2009, Hardelot, France
Communication dans un congrès hal-00575264v1
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Characterization of IN-IC integrable in-plane nanometer scale resonators fabricated by a silicon on nothing advanced CMOS technology

Cédric Durand , Fabrice Casset , Bernard Legrand , Marc Faucher , Philippe Renaux
21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2008, Jan 2008, Tucson - AZ, United States. pp.1016-1019, ⟨10.1109/MEMSYS.2008.4443831⟩
Communication dans un congrès cea-00320830v1

High yield grafting of carbon nanotube on ultra-sharp silicon nanotips: Mechanical characterization and AFM imaging

A. S. Rollier , C. Bernard , S. Marsaudon , A. M. Bonnot , M. Faucher
20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2007), 2007, Unknown, Unknown Region. pp.878-+
Communication dans un congrès hal-01553035v1

High yield grafting of carbon nanotube on ultra-sharp silicon nanotips : mechanical characterization and AFM imaging

A.S. Rollier , C. Bernard , S. Marsaudon , A.M. Bonnot , M. Faucher
20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2007, 2007, Japan. pp.851-854, ⟨10.1109/MEMSYS.2007.4433179⟩
Communication dans un congrès hal-00284388v1

Proposition of atomic force probes based on silicon ring-resonators

M. Faucher , B. Walter , A.S. Rollier , K. Segueni , Bernard Legrand
14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers'07, 2007, France. pp.1529-1532, ⟨10.1109/SENSOR.2007.4300436⟩
Communication dans un congrès hal-00284391v1
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ELECTROSTATIC ACTUATORS OPERATING IN LIQUID ENVIRONMENT : SUPPRESSION OF PULL-IN INSTABILITY AND DYNAMIC RESPONSE

A.-S. Rollier , Marc Faucher , Bernard Legrand , D. Collard , L. Buchaillot
DTIP 2006, Apr 2006, Stresa, Lago Maggiore, Italy. 6 p
Communication dans un congrès hal-00189294v1

Electrostatic actuators operating in liquid environment: suppression of pull-in instability and dynamic response

A.S. Rollier , M. Faucher , Bernard Legrand , D. Collard , L. Buchaillot
2006, pp.244-249
Communication dans un congrès hal-00128674v1

Micro et nanorésonateurs radio-fréquence

Bernard Legrand , C. Durand , M. Faucher , L. Buchaillot
Leray J.L., Boudenot J.C., Gautier J. La micro-nano électronique, enjeux et mutations, CNRS ÉDITIONS, pp.239-242, 2009
Chapitre d'ouvrage hal-00575789v1