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Bernard Legrand
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Microelectromechanical coupled resonsator IF filters with variable bandwidth in thick-film epitaxial polysilicon technology2003, pp.F23-F26
Communication dans un congrès
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High-frequency high-Q micro-mechanical resonators in thick epipoly technology with post-process gap adjustment2002, pp.665-668
Communication dans un congrès
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Conception de résonateurs micromécaniques pour les filtres IF dans la technologie de couches épaisses épitaxiéesColloque CAO des Circuits Intégrés et Systèmes, 2002, Paris, France
Communication dans un congrès
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Design of clamped-clamped beam resonator in thick-film epitaxial polysilicon technology2002, pp.447-450
Communication dans un congrès
hal-00148736v1
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IF MEMS filters for mobile communication2001, pp.733-736
Communication dans un congrès
hal-00152458v1
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