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		Dry etching study of 3D Grayscale micrometric patterns into a polymer layer Assia Selmouni , Aurélien Tavernier , Sébastien Bérard-Bergery , Nicolas Posseme MNE2022 Eurosensors - PESM Workshop, Micro and Nano Engineering, Sep 2022, Leuven, Belgium Communication dans un congrès cea-03773457v1	Envoyer sur ORCID Exporter BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite Export avancé Partager Gmail Facebook X LinkedIn More

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